13951825145
簡要描述:URE-2000/35型紫外光刻機,采用三柔性支點實現(xiàn)高精度自動調(diào)平;真空接觸自動曝光;樣片升降、調(diào)平、接觸、曝光、復位實現(xiàn)自動化控制。
產(chǎn)品分類
芯片加工設備
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